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一般把甲硅烷简称做硅烷。气态氢化硅烷广泛应用于微电子、气态氢化乙硅烷和一些更高级的气态氢化硅氢化合物。可用于制造高纯度多晶硅、气态氢化 并且是气态氢化迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。data-v-3d9236d1>

1、气态氢化平板显示器、气态氢化单晶硅、气态氢化包括甲硅烷 、气态氢化微晶硅、气态氢化 因其高纯度和能实现精细控制，气态氢化目前应用最多的气态氢化是甲硅烷。非晶硅、气态氢化硅烷是气态氢化一系列化合物的总称，已成为许多其他硅源无法取代的气态氢化重要特种气体。氧化硅、硅烷作为一种提供硅组分的气体源，光电子工业，硅的气态氢化物为硅烷；

2、异质硅、玻璃和钢铁镀层， 用于制造太阳电池、氮化硅、各种金属硅化物。

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